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2009年10月，世界上第一台用于硅烷法多晶硅行业的内返料四氟化硅反应炉（包括整个四氟化硅系统的工艺包）在天威英利所属的保定六九硅业有限公司投入运行。
发布时间：2009-10-12     作者：   分享到：


•2009年10月，世界上第一台用于硅烷法多晶硅行业的内返料四氟化硅反应炉（包括整个四氟化硅系统的工艺包）在天威英利所属的保定六九硅业有限公司投入运行。


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